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日本SMC 真空過濾器ZFC101-03B真空過濾器是將從大氣吸入的污染物（主要是塵埃）收集起來，防止系統污染，用在吸盤和真空發生器（或真空閥）之間。在真空發生器的排氣口、真空閥的吸氣口（或排氣口）和真空泵的排氣口應安裝消聲器。

SMC真空過濾器ZFA,ZFB系列工作時，濁液經入口進入過濾器下腔，又經隔板孔進入濾芯的內腔。大于過濾芯縫隙的雜質被截留，凈液穿過縫隙到達上腔， Z后從出口送出。過濾器采用高強度的楔形濾網，通過壓差控制、定時控制自動清洗濾芯。

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